精密塗佈系統 (PCS)

分别控制粒子直徑和粒子飛行速度以達到最適當的塗膜技術、利用低壓可以實現更均匀的微粒化的技術,通過與連續穩定供應材料的技術相結合,從而實現納米级的超薄膜乃至數µm级的膜厚。